科仪创新真空(图)、七星华创质量流量计、质量流量计

                                                                       高精度质量流量控制器

    科仪创新真空技术有限公司（简称“科仪创新”），是一家以微电子技术为核心，七星华创流量计，以电子专用设备与新型真空获得设备为主营业务，集研发、生产、销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。

     流量计事业部发展而来的北京市高新技术企业。2010年成功研发出不用单独气体标定的质量流量控制器，率先采用半导体芯片技术，实现了传统流量计毛细管堵的问题、填补了中国气体测控的空白。其后产品凭借领先的技术迅速在全国多种工业及研究领域得到广泛应用，在用户中产生了较大的影响力。

    2006年，公司开始与美国顶尖流量计技术团队合作开发新品。2012年科仪创新推出中国首台全数字化质量流量控制器。直接改变了我国数字质量流量控制器完全依赖进口的局面。并成功应用于8英寸半导体光伏、LOW-E、ITO等要求苛刻的大型高端生产线，帮助客户成功替换了进口产品，降低了生产线成本。2010年七星电子又推出了代表国际先进水平的压力不敏感质量流量控制器。该性能指标的产品仅国外高端的质量流量计生产厂家才能生产，标志着国产流量计的技术水平达到了崭新的高度。

    经历了多年的研发、生产经验积淀，公司先后推出了多达50多种产品，涵盖了数字型，七星华创质量流量计，普通型，大量程型，高精度型，快响应型，耐压型，金属密封型等多种类型的客户需求，产品广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、食品、电力等行业。

                                                            质量流量计、质量流量控制器

质量流量计控制器采用320*240彩色触摸屏。全中/英文界面，清洗，关闭，控制，规格量程，气体种类，一键式操作。显示界面直观，操作简便

产品创新点

进口传感器芯片技术

ZF—MFC-质量流量计控制器采用了进口传感器.使精度，质量流量计，温漂，环境的剧烈变化影响得到极大的提高

无毛细管技术

通气口径达到6mm，对粘度较大，含杂质气体能保证精度。如硫化氢气体等。

超微流量控制

小流量分辨率0.01ml/min 并能精准控制

触摸屏功能

ZF—MFC-2产品采用新技术，质量流量控制器，所有量程，气体切换一键搞定，操作方法一目了然，并有中英文可随意选择，强大的操作功能，可以完全兼容所有厂家的客户端接口

高精度 快响应

ZF—MFC-3质量流量计控制器，产品准确度采用设定点精度，显示精度，标定精度三点精度可达0.5%FS，响应时间≤200m