高压柜氦测漏系统-氦测漏系统-科仪创新真空有限公司

真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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氢气检漏设备

（1）检漏仪：采用上述工作原理制造的氢气检漏仪，由于氢气的上述性质，其灵敏度可以达到与氦检相同水平。（2）示踪气体充注控制器：对于批量生产的用户，好采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作，可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。

氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏，称作氢氮混合气检漏法，或氢气检漏法。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的（ISO10156），无毒性和腐蚀性，也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素，有着很多的优点。

氢气检测仪特点

1． 氢气检测仪小巧、采用坚固的防爆外壳，具有防水型设计。2． 屏幕LCD液晶显示，可连续连续实时地显示气体浓度，需要背景灯时，可按下背景灯用键。3． 具有很强的声、光、振动等3种报警功能。4． 采用可充电锂电池供电，待机可长达约一个月左右。5． 报警可有低限、高限、STEL和TWA等多种报警功能，并可据客户需求调整报警值。6． 自动零点与满量程标定等功能。