怎么确定真空箱式氦检漏仪用于镀膜设备的灵敏度？
2024.09.25
1.操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单；
2.性能高：真空箱式氦检漏仪采用了进口检漏仪仪分了泵与高性能的质谱系统，灵敏度度高，检测压强高，响应时间快；
3.功能强大：多种模自动切换，具有权限管理功能；
4.可靠性高：采用抗氧化性的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能；
5.多种接口：具有RS232/485，外控IO，遥控器接囗以及外部规管接口等用户接囗。
(1)便携性:许多真空箱式氦检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，为野外作业和高空作业提供了很大的便利。
(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕，对于检测大系统和泄漏工件非常有用。
(3)高度自动化：氦峰自动标定，零点自动调整，量程自动转换，数据自动处理，可外接打印机。全机由微电脑控制，具有选菜功能，一键完成全检漏过程。
(4)完全无油的干式检漏:一些地方生产的检漏仪可以采用干式泵，达到无油蒸汽的效果，为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。
