当发现氦检漏仪的灵敏度降低，而检漏仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。

这个时候，就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行清洗。具体的清洗方法如下：

先用较细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电及部件，这里不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电及部件；然后用航空汽油或丙酮和无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意，分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热，否则可能导致磁铁退磁，使检漏仪的灵敏度降低。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。

1.氦检漏仪的功能可以满足检漏的要求。如果有些仪器没有反流检漏功能，则不适用于吸枪方法的检漏；有些仪器没有设置报废漏率的功能，不适合用于批量产品的检漏；流水线需要一定的检漏速度，此时，应选择带有双工位的检漏器。

2.仪器的灵敏度可以满足检漏的要求。不同类型的氦质谱检漏器在国内外生产的灵敏度不同。如果检漏要求的灵敏度高，我们应该仔细选择。

3.被检件不能受油污染，那么可以选购无油真空系统检漏仪。

4.如果被检件体积较大，则必须选择抽泵抽速大的检漏仪，否则需要加预抽泵。

5.如被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，应选用功能齐全、灵敏度高、检漏范围宽的检漏仪器。

6.检漏地点不固定，需经常搬运氦气质谱检漏仪时，应选用小型便携式仪器。

7.氦检漏仪的价格是否低，操作是否简单，维修是否方便等问题，在满足上述检漏基本要求的基础上，也要综合考虑。