氦质谱检漏仪在现代工业生产中广泛应用,代表了科技水准,以及人们对产品品质的要求的提高,比如消防器材的检漏,早在国内采用的是浸水法,将灭火器放在水中,如果没有气泡冒出,就认为是合格的,此种方法完全靠人的观察,組当遇到微小泄露时,根本无法察觉,很可能在以后的使用中遇到问题,甚至可能危及生命,使用氦质谱检漏仪则大大降低了泄露风险,即使对微小的泄露也会侦测到,并加快了生产效率。
测试方法,使用氦质谱检漏仪的正压法,先将灭火器内冲入氦气,然后放在密闭腔体内,腔体与氦质谱检漏仪相连,工作时先将腔体内抽真空,到达一定的真空度后开始检漏,测试漏率在10-5 mbar.I/s,下视为合格(实际测试在24小时泄露2 ml.约为10-5 mbar.l/s)。
(1)便携性:许多氦质谱检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,为野外作业和高空作业提供了很大的便利。
(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕,对于检测大系统和泄漏工件非常有用。
(3)高度自动化:氦峰自动标定,零点自动调整,量程自动转换,数据自动处理,可外接打印机。全机由微电脑控制,具有选菜功能,一键完成全检漏过程。
(4)完全无油的干式检漏:一些地方生产的检漏仪可以采用干式泵,达到无油蒸汽的效果,为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。