怎么确定氦检漏仪用于镀膜设备的灵敏度？
2024.05.04
(1)便携性:许多氦检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，为野外作业和高空作业提供了很大的便利。
(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕，对于检测大系统和泄漏工件非常有用。
(3)高度自动化：氦峰自动标定，零点自动调整，量程自动转换，数据自动处理，可外接打印机。全机由微电脑控制，具有选菜功能，一键完成全检漏过程。
(4)完全无油的干式检漏:一些地方生产的检漏仪可以采用干式泵，达到无油蒸汽的效果，为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。
1.较小的检漏率：即氦检漏仪能检测到较小的检漏率。
2.响应清除时间：当一定流量的探测气体进入氦质谱泄漏检测器时，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，泄漏指示器可以达到大值，泄漏指示器不能立即恢复到零，需要一定时间才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间：氦检漏仪开启电源与能检测到泄漏之间的时间。
