电工电子产品由于密封不良，将会造成产品的漏气漏液，从而降低电性能，有时还会造成本身及附近产品的腐蚀现象，甚至使产品破坏丧失全部功能，以致造成巨大的或不可挽回的损失。近年来由于电子工业的发展，空间探索活动的增加，检漏技术得到了快速发展。近几年来，电工电子产品的监督检验部门和生产厂家都强化“以质量求生存”的意识，他们在将氦质谱检漏仪用于生产线和科研应用的同时，不断探索其在本行业的应用开发并积累了很多经验。
目前氦质谱检漏仪在电子工业中有了广泛的应用。根据不同产品对密封的要求不一样。多采用负压法,正压法和压氦法三种检漏方法。

1、负压法检漏

负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具如管壳的检漏。检漏仪正常工作后，用标准漏孔进行漏率校准，就可以对管壳作喷吹检漏，先将夹具固定在检漏口，待测管壳放在夹具上面的橡皮板上，辅助抽气系统将其抽至预定真空后自动接至仪器的测量系统。然后用喷枪连续向管壳喷氦气,时间一般1~3秒,当管壳存在漏孔时,氦气将通过漏孔进入仪器的质谱分析部分,漏量大小在漏率表上直接显示出来,这种方法即能判断漏孔的位置也可测量漏孔的大小。整个检测周期只需一分钟。

2、正压法检漏

吸入法检漏与负压法检漏相反，吸枪接在检漏仪的检测口，而被检件充入规定压力的示踪气体，漏孔泄漏出来氦气被吸枪吸入检漏仪被检测。大型容器或内部放气管量很大的容器做正压检漏很不经济，而且检漏速度慢，一般采取负压检漏。检漏之前，必须校准仪器的吸枪灵敏度，再向容器内充入比一个大气压高的氦气，有些容器是薄板结构，建议在容器外面做夹具防止高压时变形损坏器件。吸枪沿焊缝移动时速度不要太快，离开表面1mm左右，以保证吸入灵敏度，将探头做成喇叭口形效果更好。

3、压氦法检漏

压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好,再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据标准文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时，压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。

从上述检漏方法来看，可以得出氦质谱检漏仪的检漏范围宽，精度好，安全等优点。所以氦质谱检漏仪在电工电子工业得到了广泛的应用，正是由于氦质谱检漏仪具有很多其他检漏方法没有的优势，加上用户对企业的产品质量提出了更高的要求，所以氦质谱检漏仪才有更广阔的市场空间。