(1)便携性:许多空调两器真空氦检漏系统不仅灵敏度高,而且便于携带,为野外作业和高空作业提供了很大的便利。
(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕,对于检测大系统和泄漏工件非常有用。
(3)高度自动化:氦峰自动标定,零点自动调整,量程自动转换,数据自动处理,可外接打印机。全机由微电脑控制,具有选菜功能,一键完成全检漏过程。
(4)完全无油的干式检漏:一些地方生产的检漏仪可以采用干式泵,达到无油蒸汽的效果,为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。
1.较小的检漏率:即空调两器真空氦检漏系统能检测到较小的检漏率。
2.响应清除时间:当一定流量的探测气体进入氦质谱泄漏检测器时,电子系统和真空系统需要一定的响应时间,泄漏指示器可以达到大值,泄漏指示器不能立即恢复到零,需要一定时间才能下降,通常由于氦吸附和解吸,去除时间略长于响应时间。
3.启动时间:空调两器真空氦检漏系统开启电源与能检测到泄漏之间的时间。