灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、级限真空度及仪器入口处抽速是评价氦检漏仪器的主要性能指标。

①灵敏度及其校准

氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的较小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的*小漏孔漏率。所谓“*佳工作条件”是指仪器参数调整到*佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“*小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的波动量。

②反应时间、清除时间及其测定

反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零（或补偿到零）时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的时间，记为τR。

清除时间是指输出仪表讯号稳定到值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的时间，记为τC。

③工作真空、级限真空及入口处抽速

质谱室级限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的级限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。

氦检漏仪器怎么才能规避真空泵油造成的污染

1、由于工作人员操作失误所导致的真空泵油污染。因为公司不一定只会使用一个牌子的真空泵，会有很多真空泵，所使用的真空泵油也不尽相同。工作人员在添加真空泵油的时候，把不同的真空泵油混合使用，这个会导致原先真空泵油和新加入的真空泵油发生不良反应，使得真空泵油受到污染。

2、新油旧油混合使用，导致污染。旧油在长期的使用过程中，会因为杂质造成污染，如果这个时候没有将真空泵里的旧油清理干净，直接加入新油，就会导致新油也收到污染。

3、新买的真空泵或真空泵维修后，没有按照用规定的油清洗真空泵内部，导致真空泵油受到污染。