氦检漏仪器的优点
2024.03.10
氦检漏仪器怎么才能规避真空泵油造成的污染
1、由于工作人员操作失误所导致的真空泵油污染。因为公司不一定只会使用一个牌子的真空泵，会有很多真空泵，所使用的真空泵油也不尽相同。工作人员在添加真空泵油的时候，把不同的真空泵油混合使用，这个会导致原先真空泵油和新加入的真空泵油发生不良反应，使得真空泵油受到污染。
2、新油旧油混合使用，导致污染。旧油在长期的使用过程中，会因为杂质造成污染，如果这个时候没有将真空泵里的旧油清理干净，直接加入新油，就会导致新油也收到污染。
3、新买的真空泵或真空泵维修后，没有按照用规定的油清洗真空泵内部，导致真空泵油受到污染。
氦检漏仪器的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。
这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
