氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理
2024.01.28
1.氦质谱检漏仪采用便携式设计
2.设备外型美观小巧
3.氦质谱检漏仪采用液晶触摸屏设计
4.有通讯接口
5.可以方便地将检漏数据输出
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。
这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
