科技信息化不断更新迭代的市场，氦检漏仪器的应用技术也在不断发展和完善。一方面过去的氦质谱检漏仪不能满足现阶段的一个需求，而且对检漏仪提出新要求的情况下，检漏仪设备被迫更新，另一方面每个行业的不足都在进步的过程，缺陷与不足相互补充，相互促进。而现在的氦质谱检漏仪早已告别了四五十年代的初期情形，在性能和领域上都有新的突破。

氦检漏仪器进展集中体现如下方面：

1.智能化：以往的氦检漏仪器操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。

2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。

3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

4.全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

5.检漏范围宽：现今生产的四级检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦检漏仪器怎么才能规避真空泵油造成的污染

1、由于工作人员操作失误所导致的真空泵油污染。因为公司不一定只会使用一个牌子的真空泵，会有很多真空泵，所使用的真空泵油也不尽相同。工作人员在添加真空泵油的时候，把不同的真空泵油混合使用，这个会导致原先真空泵油和新加入的真空泵油发生不良反应，使得真空泵油受到污染。

2、新油旧油混合使用，导致污染。旧油在长期的使用过程中，会因为杂质造成污染，如果这个时候没有将真空泵里的旧油清理干净，直接加入新油，就会导致新油也收到污染。

3、新买的真空泵或真空泵维修后，没有按照用规定的油清洗真空泵内部，导致真空泵油受到污染。