空调两器真空氦检漏系统的检漏方式
2023.10.29
当发现空调两器真空氦检漏系统的灵敏度降低，而检漏仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。
这个时候，就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行清洗。具体的清洗方法如下：
先用较细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电及部件，这里不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电及部件；然后用航空汽油或丙酮和无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意，分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热，否则可能导致磁铁退磁，使检漏仪的灵敏度降低。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。
空调两器真空氦检漏系统是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的检漏仪器。
空调两器真空氦检漏系统由离子源、分析器、收集器、冷阴及电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
