氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理
2023.10.13
氦质谱检漏仪在各个行业的应用：
1.电子行业的应用
微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、起博器。
2.真空行业，仪器、仪表行业的应用
管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐照加速器、镀膜机、薄膜真空计。
3.核工业的应用
铀分离装置、存储装置、核发电装置。
4.制冷行业的应用
冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。
5.不锈钢保温器皿的应用
真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
氦质谱检漏仪检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴及电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收及而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。
