造成氦质谱检漏仪灯丝脆断的原因？
2023.09.07
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。
这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
氦质谱检漏仪在现代工业生产中广泛应用，代表了科技水准，以及人们对产品品质的要求的提高，比如消防器材的检漏，早在国内采用的是浸水法，将灭火器放在水中，如果没有气泡冒出，就认为是合格的，此种方法完全靠人的观察，組当遇到微小泄露时，根本无法察觉，很可能在以后的使用中遇到问题，甚至可能危及生命，使用氦质谱检漏仪则大大降低了泄露风险，即使对微小的泄露也会侦测到，并加快了生产效率。
测试方法，使用氦质谱检漏仪的正压法，先将灭火器内冲入氦气，然后放在密闭腔体内，腔体与氦质谱检漏仪相连，工作时先将腔体内抽真空，到达一定的真空度后开始检漏，测试漏率在10-5 mbar.I/s，下视为合格(实际测试在24小时泄露2 ml.约为10-5 mbar.l/s)。
