真空箱式氦检漏仪的检漏方式
2023.03.31
真空箱式氦检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。
这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
当发现真空箱式氦检漏仪的灵敏度降低，而检漏仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。
这个时候，就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行清洗。具体的清洗方法如下：
先用较细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电及部件，这里不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电及部件；然后用航空汽油或丙酮和无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意，分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热，否则可能导致磁铁退磁，使检漏仪的灵敏度降低。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。
