氦检漏仪的优点
2022.10.02
氦检漏仪的较小可检漏率（灵敏度），指的是在检漏装置在处于一个较佳的工作条件下（示漏气体采用的是一个大气压的纯氦），做“动态检漏”时能检出的较小漏孔的漏率。
1、较佳工作条件。
指被检镀膜设备部件的材料出气很少，且没有较大漏孔；检漏装置本身的参数调整到较佳工作状态等。
2、动态检漏。
指不用累积法进行检漏，检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空，装置的反应时长小于3s，3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的；
3、较小可检。
指其信号是本底噪声的两倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空气（100kPa的压力）经漏孔通向真空端（远远低于100kPa的压力）的漏率。
对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪，为表征这种反应特性，较好给出检漏装置的较小可检浓度，即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”，指处在工作压力下（工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa）的质谱室，使用该装置可检示的大气中的较小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦质谱检漏仪中的“较小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时，当中氦的浓度。
1.真空度低；
2.灯丝电流过大；
3.对灯丝有害的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。
那么，在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长氦检漏仪的灯丝寿命。
