(1)便携性:许多锂电池壳检漏设备不仅灵敏度高,而且便于携带,为野外作业和高空作业提供了很大的便利。
(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕,对于检测大系统和泄漏工件非常有用。
(3)高度自动化:氦峰自动标定,零点自动调整,量程自动转换,数据自动处理,可外接打印机。全机由微电脑控制,具有选菜功能,一键完成全检漏过程。
(4)完全无油的干式检漏:一些地方生产的检漏仪可以采用干式泵,达到无油蒸汽的效果,为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。
锂电池壳检漏设备的较小可检漏率(灵敏度),指的是在检漏装置在处于一个较佳的工作条件下(示漏气体采用的是一个大气压的纯氦),做“动态检漏”时能检出的较小漏孔的漏率。
1、较佳工作条件。
指被检镀膜设备部件的材料出气很少,且没有较大漏孔;检漏装置本身的参数调整到较佳工作状态等。
2、动态检漏。
指不用累积法进行检漏,检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空,装置的反应时长小于3s,3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的;
3、较小可检。
指其信号是本底噪声的两倍;
4、漏孔的漏率。
指干燥空气(100kPa的压力)经漏孔通向真空端(远远低于100kPa的压力)的漏率。
对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪,为表征这种反应特性,较好给出检漏装置的较小可检浓度,即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”,指处在工作压力下(工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa)的质谱室,使用该装置可检示的大气中的较小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦质谱检漏仪中的“较小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时,当中氦的浓度。