(1)内部的密封结构

当氦质谱检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

(2)定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

氦质谱检漏仪在使用前需要校准。氦质谱检漏仪的校准的主要项目包括:噪音、Z小可检漏率、漏率值校准、清除时间等，其中较重要的项目是漏率值的校准。漏率值校准通常是在氦质谱检漏仪使用前用标准漏孔进行校准。

氦质谱检漏仪的技术要求：

1、氦质谱检漏仪在下列条件下应能正常工作

①环境温度：5-35℃;

②相对湿度：不大于80%;

③供电电源：380±38V;220±22V;50±0.5Hz;

④大气压力：100±5kPa;

⑤仪器附近无强的电磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体。

2、外观质量

①仪器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损伤和锈蚀。

②仪器上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固，转动灵活。

3、安全要求

①绝缘电阻：在正常工作条件下，仪器的电源线和机壳之间的绝缘电阻应大于5MΩ。

②绝缘强度：仪器的电源线和机壳之间应能承受1000V、50H交流电压，历时1min而无击穿及飞弧现象。

③仪器的泄漏电流不大于3.5mA。