1、氦质谱检漏仪对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验;
2、对被检工件抽真空;
3、对被检工件充注氦气;
4、真空箱法氦质谱检测,自动判断工件漏率合格与不合格;
5、回收并循环使用氦气;
6、如果氦气浪费严重,可以将使用过程中浓度不合格的氦气进行提纯
7、PLC控制,触摸屏操作,自动检测。
氦质谱检漏仪检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴及电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收及而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。