真空氦气检漏设备的真空系统
2022.06.10
真空氦气检漏设备的真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。
