氦气检漏仪的工作原理是什么？
2022.05.23
氦气检漏仪主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。
分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上。
收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率，冷阴电离真空计指示质谱室的压力保护装置。
