氦质谱测漏仪校准应用
2020.02.26
在使用氦气标准漏孔对氦质谱测漏仪进行校准时,氦质谱测漏仪内部校准值要设定和标准漏孔的实际漏率值一样，然后按照校准程式进行校准，后将校准后的结果保存，校准完毕；另外还可以在检漏仪吸式工作状态时将吸枪靠近校准漏孔泄漏点，比较一下氦质谱检漏仪上的测量值和标准漏孔的实际值的差异，然后在进行校准，再比较。
氦气标准漏孔氦质谱测漏仪应用
氦质谱检漏仪 吸式（Sniffer mode）使用时，数值会产生误差，使用标准氦气漏孔对氦质谱检漏仪 进行校准，在实际应用中非常必要，Pfeiffer CL 004 氦气标准漏孔提供一个工业标准漏率值，氦质谱检漏仪对应此标准漏率值进行校准，可以提高氦质谱检漏仪的度，达到一个更好的测试效果。
将氦质谱测漏仪 HLT 560连接到泵组前的检漏口上.
启动检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时启动镀膜设备的泵组.
在镀膜机内部的真空下降到一定程度的时候,如0.5 mbar以下的时候,拿氦气喷在怀疑有漏的地方,或者检查标准保养时动到的部位.这时需要有人观察检漏仪的漏率指示值的变化.当漏率上升或漏率值变化剧烈的时候,及时指出漏点所在位置,并做记号.
所有可疑点都检测完成后,关闭氦质谱测漏仪,停下镀膜机的泵组并将镀膜机打开,将检测出的漏点进行处理(如更换密封圈,清洁等等).处理完成后,再按照前叙步骤检查一遍,直到所有漏点都被清除,检漏过程完成.
氦气标准漏孔氦质谱测漏仪应用
氦质谱检漏仪 吸式（Sniffer mode）使用时，数值会产生误差，使用标准氦气漏孔对氦质谱检漏仪 进行校准，在实际应用中非常必要，Pfeiffer CL 004 氦气标准漏孔提供一个工业标准漏率值，氦质谱检漏仪对应此标准漏率值进行校准，可以提高氦质谱检漏仪的度，达到一个更好的测试效果。
将氦质谱测漏仪 HLT 560连接到泵组前的检漏口上.
启动检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时启动镀膜设备的泵组.
在镀膜机内部的真空下降到一定程度的时候,如0.5 mbar以下的时候,拿氦气喷在怀疑有漏的地方,或者检查标准保养时动到的部位.这时需要有人观察检漏仪的漏率指示值的变化.当漏率上升或漏率值变化剧烈的时候,及时指出漏点所在位置,并做记号.
所有可疑点都检测完成后,关闭氦质谱测漏仪,停下镀膜机的泵组并将镀膜机打开,将检测出的漏点进行处理(如更换密封圈,清洁等等).处理完成后,再按照前叙步骤检查一遍,直到所有漏点都被清除,检漏过程完成.
