真空箱式氦检漏设备——氦检的基本原理介绍
2021.08.20
真空箱式氦检漏设备的检漏原理:将充有4.15Mp混合氢的工件放置在真空箱内，检漏仪在真空状态下分析系统中氦分子的量。根据工艺要求，当氢分子量达到设定值时，系统将判定该工件泄露，反之合格。
真空箱式氦检漏设备——检漏过程:有微漏的工件内充注高压氦气后，氢气就会通过工件的微小漏孔泄漏到真空箱内部，由于工件在高真空环境下，系统内部没有其他气体的干扰，在真空泵的作用下氢气就会流向高真空端，在真空泵的前端检漏仪的真空泵会将氦气抽到检漏仪内部，由于氦气逆扩散能力比较强，它会逆着检漏仪分子泵的排气口到达质谱室，在质谱室离子源的作用下，气体被离化分解，再由磁分离器分离后经离子收集收集，将收集的氮离子转换为电信号显示在显示器上。
真空箱式氦检漏设备——检漏要求:过程中工件根据工艺要求抽空到800pa以下，主要为防止工件内空气的加入对氦气浓度产生影响。充氢压力根据工艺要求R22冷媒为3.3-3.8Mpa，R410A冷媒为4.15-4.5Mpa。箱体的真空度没有具体要求，根据检漏仪开检状态的真空度要小于1500pa进入粗检模式，小于20pa进入精简模式，检微漏是在精简下完成的。但往往压强越低本底越好，检漏精度也就越高。
