氦质谱检漏仪

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。环境温度较好控制在23℃附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。

今天和大家分享的是氦质谱检漏仪的操作方法，希望对大家有所帮助！

氦质谱检漏仪测量数据处理

漏率的温度修正

标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ，所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致，需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下:

方法一: 将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；

方法二: 将标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下，用标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。

氦气检漏的主要参数及优势

1、关键零部件全球集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；

2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；

3、特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；

4、实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；

5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）；

6、可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；

7、专业定制的的密封接头，稳定可靠，减少误判。

8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。

9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。

今天和大家分享的是氦气检漏的主要参数及优势，希望对您有所帮助！