氦质谱检漏仪热管检漏

热管

热管 (Heat Pipe) 是利用热传导原理与致冷介质的快速热传递性质，透过热管将发热物体的热量迅速传递到热源外，其导热能力超过任何已知金属的导热能力。热管技术目前广泛应用于计算机、各类电器等设备散热，常见的形状有圆管状，板块状 (VC 单体) 等。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

热管需要检漏原因：

热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能，如果热管本身存在漏点，首先会影响热管的导热性能；为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。其次由于热管都是安装在设备内部，如果发生泄漏，里面封装的液体就会流出，严重污染和影响设备的正常运转，所以热管生产企业，都会采用 氦质谱检漏仪对热管进行检漏。

热管检漏客户案例：某电子股份公司，是世界 IT 产业 500 强之一，分公司及营业处遍及美国、日本、欧洲、苏格兰、新加坡等地，全球员工近 90000人。该企业是全球较大的电源供应器制造商，市场占有率达 25% 以上。

热管检漏方法：

该企业热管出厂前标准漏率合格线是 E-8 mbarl/s，使用氦质谱检漏仪检漏时，设定 E-8 为报警值，当漏率低于该值时产品是合格的，当漏率高于此值，检漏仪发出声光警报，说明产品有漏。

热管采用检漏仪的真空检漏模式，因为产品没有抽真空的标准接口，上海伯东根据客户实际情况定制真空夹具，一头连接检漏仪，一头连接产品，具体做法如下：

1.启动氦质谱检漏仪，装上夹具

2.将热管插入夹具，并用真空封泥封堵

3.按下检漏仪启动键，开始抽真空

4.在产品周围喷氦气，以 E-8 mbarl/s 为合格线

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氦质谱检漏仪的校准方法

氦质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过氦质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

氦质谱检漏仪原理:

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不

氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下氦漏率的校准方法。

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氦气检漏

氦质谱检漏的检测精度高，可达到1×10-7Pa·m3/s。电池氦检前先将电池里的空气抽掉，然后注入氦气，用氦质谱检漏仪探测有没有氦气漏出，从而判断电池的气密性是否完好。电池氦检一般为两种方式：一种是在电池生产的中间环节，即在电池烘干注液之前进行检漏，电芯在真空箱内充氦气及检测，此法可以检测电池盖板、盖板焊接及电芯壳体等部位的气密性是否达标；另一种是在成品环节检漏，电芯在箱外充氦，电芯注入电解液的同时将氦气充入电芯内部，然后将电池放入真空箱内进行检漏。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。