氦质谱检漏仪的主要及时指标
科仪创新是专业生产氦质谱检漏仪的厂家,专业用于电厂检漏。关键部件均为进口,性能稳定可靠。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。今天科仪创新的小编就和大家来分享一下氦质谱检漏仪的主要及时指标。
1. 较小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3. 启动时间:≤5min
4. 响应时间:≤1s
5. 检漏口的较高压力:1500Pa
6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A
7. 工作环境:5-35℃
8. 相对湿度:≤80%
9. 外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H)
10. 重量:64kg
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氦质谱检漏仪的进展
经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如:瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。
另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。
氦质谱检漏仪热管检漏
热管
热管 (Heat Pipe) 是利用热传导原理与致冷介质的快速热传递性质,透过热管将发热物体的热量迅速传递到热源外,其导热能力超过任何已知金属的导热能力。笔者测算,在测试到数量级为10-9Pa?m3/s的微漏漏点时,清除时间约须1分钟。热管技术目前广泛应用于计算机、各类电器等设备散热,常见的形状有圆管状,板块状 (VC 单体) 等。
热管需要检漏原因:
热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能,如果热管本身存在漏点,首先会影响热管的导热性能;其次由于热管都是安装在设备内部,如果发生泄漏,里面封装的液体就会流出,严重污染和影响设备的正常运转,所以热管生产企业,都会采用 氦质谱检漏仪对热管进行检漏。(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。
热管检漏客户案例:某电子股份公司,是世界 IT 产业 500 强之一,分公司及营业处遍及美国、日本、欧洲、苏格兰、新加坡等地,全球员工近 90000人。该企业是全球较大的电源供应器制造商,市场占有率达 25% 以上。
热管检漏方法:
该企业热管出厂前标准漏率合格线是 E-8 mbarl/s,使用氦质谱检漏仪检漏时,设定 E-8 为报警值,当漏率低于该值时产品是合格的,当漏率高于此值,检漏仪发出声光警报,说明产品有漏。
热管采用检漏仪的真空检漏模式,因为产品没有抽真空的标准接口,上海伯东根据客户实际情况定制真空夹具,一头连接检漏仪,一头连接产品,具体做法如下:
1.启动氦质谱检漏仪,装上夹具
2.将热管插入夹具,并用真空封泥封堵
3.按下检漏仪启动键,开始抽真空
4.在产品周围喷氦气,以 E-8 mbarl/s 为合格线
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氦质谱检漏仪的结构和工作原理
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。05Pa以下),适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸枪检漏。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1 优于200 Pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20 Pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。
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