氦质谱检漏仪的基本原理与结构
随着科技的迅猛发展,氦质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检涮仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,综观较新氦质谱检漏仪的性能特点发现,氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等先进方向发展,这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求,也极大的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入质分析器,
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
检漏仪常规的维护
适当的维护您的检漏仪是非常必要的,具体步骤如下:
1、探头清洁:利用附送的防护罩防止灰尘、水汽和油脂阻塞探头,在使用本仪器前,均要检查探头和防护罩确无灰尘或油脂。
2、拉下防护罩;
3、用工业毛巾或压缩空气清洁防护罩;
4、如果探头本身也脏,可浸入像酒精等温和清洗剂几秒钟,然后用压缩空气或工业毛巾清洁,严禁用像矿物油等溶剂,这样易降低仪器灵敏度。
5、探头更换:探头终总要失效,需更换。由于探头寿命直接和使用条件和频次相关,因此较难预计准确的更换时间。当在清洁、纯净空气中报警或不稳定时,应更换探头,具体探头步骤是如下:
(1)确认本仪器处于关闭状态
(2)逆时针旋下旧探头
(3)顺时针旋上包装箱中提供的备用探头。
本产品信息由科仪创新提供,如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询!
氦质谱检漏仪的特点
北京科仪创新真空技术有限公司(简称:科仪创新)出资成立,创建于2015年,注册资金500万。是国内新兴的一家专业从事真空领域的高新技术企业。
1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;
2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;
3.不会受到主观因素判断的影响;
4.检测的数据精准;
5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。
今天和大家分享的是真空箱氦检漏系统特征及优点,如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询!