氦质谱检漏仪的进展
经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如:瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。
另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。
氦质谱检漏仪的应用拓展(四)
(1)制冷行业
冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。
(2)不锈钢保温器皿
真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
(3)其它
据日本有关文章介绍,日本汽车制造业,已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏,解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。
有待于开拓的检漏领域还很多,但由于思想观念的束缚以及经费等诸多原因,在很多领域还一直沿用古老且较为落后的手段处理泄漏问题。产品合格率和生产效率低。从某种意义上讲,这种工作方式制约了生产力的发展。氦质谱检漏法有优点在于:氦是惰性气体,对大气无污染,使用安全。因此,对于真空专业技术人员,特别是从事真空设备的研制和生产氦质谱检漏仪的专业厂家,应在氦质谱检漏仪的应用推广上进一步下功夫,为推动我国真空技术的发展而努力。
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氦气检漏的主要技术性能
1.真空箱尺寸根据电芯尺寸确定;
2.一般为三箱联动系统,生产节拍可满足单台6PPM—12PPM;
3.开门方式,可根据用户生产工艺要求来设计,一般为平开门式、滑台合箱式;
4.上下料采用机械手或机器人,正常生产时设备无需人工操作;
5.系统配置二维码扫描装置,可将每个电芯的检测数据对应存储;
6.具有清氦功能
7.具有氦气回收功能(此功能可选)
8.自动判断,并对应放置(即不合格品放于不合格线,合格品放于合格线)
9.可通过触摸屏设置不同等级密码,更改设备参数;
10.人机交互界面,触摸屏实时反映运行状态和测试数据;
11.故障统计功能
12.系统采用配置和标准化设计制作,确保运行稳定,性能可靠。
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