氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性：①氦气在空气中的含量少，体积含量为5。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

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氦质谱检漏仪的注意事项

检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。

检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。氦质谱检漏仪的环境条件氦质谱检漏仪是现在比较常用的仪器，今天科仪创新的小编就和大家来说一下，氦质谱检漏仪的使用环境条件有哪些，希望对您有所帮助。笔者根据实测经验，两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷氦后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。

清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。热管需要检漏原因：热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能，如果热管本身存在漏点，首先会影响热管的导热性能。笔者测算，在测试到数量级为10-9P a ?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8P a ? m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7Pa?m3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。

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氦质谱检漏仪的环境条件

氦质谱检漏仪是现在比较常用的仪器，今天科仪创新的小编就和大家来说一下，氦质谱检漏仪的使用环境条件有哪些，希望对您有所帮助！

校准环境温度为(23 ± 5) ℃ ，校准过程中室温变化不超过± 1℃ ，环境相对湿度不大于80% 。

校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。

环境温度较好控制在23℃ 附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃ 。

氦气检漏仪的工作原理是什么？

主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上，收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。