氢气检漏法的基本原理

氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏，称作氢氮混合气检漏法，或氢气检漏法。氢气检漏法检测灵敏度高、节约成本、操作简便，将是以后检漏技术的发展趋势。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(ISO10156国际标准)，无毒性和腐蚀性，也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素，有着很多的优点。

氢的分子量与氦气相近，是所有化学元素中分子量较轻的元素，有很好的扩散性，逃逸性很强，吸附及粘滞性很低。真空设备检漏北京科仪创新真空专注气密性检测设备研发，生产、销售20年。由于氢分子移动速度要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。基本工作原理是使用专门开发的氢气传感器，它只对氢气有响应信号，而对其他气体没有响应，属于唯1性检漏性检漏方法。一旦出现信号响应，说明有氢气通过漏孔进入被检件中，从而指示漏孔的位置与大小。同时，由于氢气在一般环境中的含量浓度都非常低，所以不会因本底污染而导致误报警。

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氢气检漏法的优势

制冷、空调行业检漏技术的现状：在产品部件生产过程中，目前常使用氦检漏技术来查找微小的泄漏，而保压测试和水浴法常被用来检测较大的泄漏。氢气检漏法在制冷、空调的应用和展望今天，在世界各地许多制冷、空调客户正在使用各种不同型号的氢气检漏仪。产品装配完成并充入制冷剂之后，可能在出厂前还会使用卤素检漏仪对整个产品再进行一次检漏。由于保压测试和水浴法只能检出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此长期以来，氦检漏技术是制冷、空调行业中的检小漏的手段，吸枪式氦检漏技术一般可以检出10-7mbar·l/s左右的泄漏。但是，以氦气作为示漏气体，也有一些不足之处，例如橡胶、塑料等有机材料常常会吸收氦气，在吸收后慢慢地释放出来;所有的氦气检漏仪器机构的离子收集板，对氦气都会产生记忆效应，即氦离子打到离子收集板上，并储存一定时间，然后再慢慢释放出来，从而造成本底的噪音等问题。

无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。氢气检漏法的优势制冷、空调行业检漏技术的现状：在产品部件生产过程中，目前常使用氦检漏技术来查找微小的泄漏，而保压测试和水浴法常被用来检测较大的泄漏。与氦气相比，使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。其价格非常低廉，很容易在各个气体供应商处购得。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相当于0.1g/y，其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20，同时氦气检漏法要增加一些辅助设备，如氦气回收系统等。

真空设备检漏

北京科仪创新真空技术有限公司（简称：科仪创新）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。由于保压测试和水浴法只能检出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此长期以来，氦检漏技术是制冷、空调行业中的检小漏的手段，吸枪式氦检漏技术一般可以检出10-7mbar·l/s左右的泄漏。科仪创新产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。

如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。由于氢分子移动速度要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式，即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下：

在抽真空方式下，待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连，

待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待测器件容积较大，则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率）。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。如果需要得到精que的漏率数值，则必须等待整个测量系统的真空达到稳态，