氢气检漏法的主要设备
(1)检漏仪:采用上述工作原理制造的专用氢气检漏仪,由于氢气的上述性质,其灵敏度可以达到与氦检相同水平。
(2)示踪气体充注控制器:对于批量生产的用户,采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作,可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。
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氢气检漏法的工艺和方法
批量生产的用户采用上述控制器进行示踪气体的充注,达到收到压力后控制器会给出提示,这时操作人员即可进行检漏操作,然后通过控制器把气体排出。注意不可以直接将气体排在检漏位置,因为这样会造成本底污染,使得后面的检漏无法进行。
工程安装维护商可以采用手持式氮氢检漏仪(有带气瓶/表组的套装产品供选择),在现场需要查找系统漏点时,先排空制冷剂,然后逐段充注5%氢+95%氮的示踪气体,用手持式氮氢检漏仪进行巡检式查漏。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。由于氢气比空气轻,所以泄漏出来的氢气都会沿着管道等部件往上跑,并且可以穿透保温材料,使用者可以在部件较高位置进行检漏,比采用其他方式查找漏点要容易得多,成功率也高很多。
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在各种检漏应用场合中,氢气检漏法的出现为您带来了更大的性能和效率的改善提高机会。氢氮混和气检漏法已在国内外广泛应用于制冷、空调、汽车零部件、发动机、变速箱、减速机、阀门、药品包装、飞机油箱油路及其他密封件或管路检漏。氢气检漏法检测灵敏度高、节约成本、操作简便,将是以后检漏技术的发展趋势。
真空设备检漏
北京科仪创新真空技术有限公司(简称:科仪创新)出资成立,创建于2015年,注册资金500万。科仪创新产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;所有的氦气检漏仪器机构的离子收集板,对氦气都会产生记忆效应,即氦离子打到离子收集板上,并储存一定时间,然后再慢慢释放出来,从而造成本底的噪音等问题。系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;超高真空环境模拟设备等高新技术产品。
如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系,尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压,则用正压模式,如检测对象工作时内部处于负压,则用真空模式。如单凭耳朵听,往往因声波的反射或吸收,很难确定泄漏点,即发声地点。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式,即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下:
在抽真空方式下,待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连,
待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待测器件容积较大,则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率)。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。由于氢分子移动速度要高于其他分子,因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体,可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。如果需要得到精que的漏率数值,则必须等待整个测量系统的真空达到稳态,