真空设备检漏
设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便,检测迅速等特点,是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器,
其测量工作原理如下。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。氢的分子量与氦气相近,是所有化学元素中分子量轻的元素,有很好的扩散性,逃逸性很强,吸附及粘滞性很低。质量分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同,在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙,打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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一个真空系统,经相当长时间抽气之后,仍然达不到预期的真空度,可能的原因有:抽气情况不良,即抽气系统本身的问题。放气,即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气,即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题,即准确检出漏孔并加以修补。氢气检漏法的优势制冷、空调行业检漏技术的现状:在产品部件生产过程中,目前常使用氦检漏技术来查找微小的泄漏,而保压测试和水浴法常被用来检测较大的泄漏。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位,以便修补堵漏。
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北京科仪创新真空技术有限公司(简称:科仪创新)出资成立,创建于2015年,注册资金500万。科仪创新产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;工程安装维护商可以采用手持式氮氢检漏仪(有带气瓶/表组的套装产品供选择),在现场需要查找系统漏点时,先排空制冷剂,然后逐段充注5%氢+95%氮的示踪气体,用手持式氮氢检漏仪进行巡检式查漏。系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;超高真空环境模拟设备等高新技术产品。
如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系,尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压,则用正压模式,如检测对象工作时内部处于负压,则用真空模式。氢气检漏法的基本原理氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏,称作氢氮混合气检漏法,或氢气检漏法。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式,即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下:
在抽真空方式下,待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连,
待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待测器件容积较大,则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率)。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值,则必须等待整个测量系统的真空达到稳态,
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