在各种检漏应用场合中,氢气检漏法的出现为您带来了更大的性能和效率的改善提高机会。氢氮混和气检漏法已在国内外广泛应用于制冷、空调、汽车零部件、发动机、变速箱、减速机、阀门、药品包装、飞机油箱油路及其他密封件或管路检漏。氢气检漏法检测灵敏度高、节约成本、操作简便,将是以后检漏技术的发展趋势。
真空设备检漏
听音法
气体从小孔中喷出时,会发出声音。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。根据气体漏出时发出的声音判断有无泄漏。
该方法的灵敏度很大程度上受环境的影响。若工厂噪音较大,则小的声音就不易听清。产品装配完成并充入制冷剂之后,可能在出厂前还会使用卤素检漏仪对整个产品再进行一次检漏。使用听诊qi,某种程度上可以消除周围噪音的影响,听清泄漏声音,但有时与泄漏无关的声音(例如电机的声音)也会混杂进来,从而影响检漏灵敏度。为了辨别较小的声音,可用话筒和放大器将声音放大。但此时其它声音也同时放大,多数情况下较难收到好的效果。在检测压力为0.3MPa,周围非常安静的条件下,可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。
这种方法既简单、经济。使用听诊qi,在某种程度上可以判断出泄漏点。如单凭耳朵听,往往因声波的反射或吸收,很难确定泄漏点,即发声地点。由于检测环境条件不同,所得到的结果可能偏差很大。因此,这种方法的稳定性和可靠性很差。应与其它检测法并用。
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设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便,检测迅速等特点,是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器,
其测量工作原理如下。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同,在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙,打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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