在各种检漏应用场合中,氢气检漏法的出现为您带来了更大的性能和效率的改善提高机会。氢氮混和气检漏法已在国内外广泛应用于制冷、空调、汽车零部件、发动机、变速箱、减速机、阀门、药品包装、飞机油箱油路及其他密封件或管路检漏。氢气检漏法检测灵敏度高、节约成本、操作简便,将是以后检漏技术的发展趋势。
真空设备检漏
北京科仪创新真空技术有限公司(简称:科仪创新)出资成立,创建于2015年,注册资金500万。科仪创新产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;超高真空环境模拟设备等高新技术产品。本产品信息由科仪创新提供,如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询,科仪创新竭诚为您服务。
如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系,尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压,则用正压模式,如检测对象工作时内部处于负压,则用真空模式。至少要在10-3mbar以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式,即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下:
在抽真空方式下,待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连,
待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待测器件容积较大,则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率)。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(ISO10156国际标准),无毒性和腐蚀性,也不会对设备和环境产生不利影响。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值,则必须等待整个测量系统的真空达到稳态,
并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的
位置,可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。
与抽真空方式相反,嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气,
封闭测试端口,将嗅探探头连接至检漏仪,用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升,便可判断漏孔的位置。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是,由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的,大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除,但仍会降低嗅探方式的灵敏度(嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。