真空检漏

超声波法

该方法实际上是听音法的一种。该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器（探头）间的距离等因素有关。它是将泄漏声音中可听频率部分截掉，仅仅使超声波部分放大，以检测出泄漏。检测时，可以直接使用超声波检测器，根据检测仪表指针是否摆动，确定有无泄漏。也可以采用使超声波回到可听频率范围内鸣笛的方法。采用后一种原理制造的超声波转换器不仅在被试验物加压时可以使用，在抽真空时，由于吸入的空气发出超声波，因而，采用真空法时也可以使用。

超声波转换器由于只检测超声波部分，在普通工厂的噪音条件下，不受明显干扰，因此检漏效果很好。

该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器（探头）间的距离等因素有关。当泄漏点与探头距离很近时，超声波转换器的灵敏度可达1′10-2cm3/s。

检漏时将检漏器的灵敏度调到较大，一边移动探头，一边侦听，使能听到的超声波发出的声音达到较大。1g/y，其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20，同时氦气检漏法要增加一些辅助设备，如氦气回收系统等。然后，再寻找发出超声波的位置，以便确定泄漏点。但在探头不易接近的地方出现泄漏时，就很准确地判断出泄漏点。这种方法操作简便，人为因素较小，不同检测人员所得到的检测结果基本相同。

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真空设备检漏

北京科仪创新真空专注气密性检测设备研发，生产、销售20年。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(ISO10156国际标准)，无毒性和腐蚀性，也不会对设备和环境产生不利影响。目前氦气资源的匮乏。在市场上氦气的价格一直居高不下。大大增加企业生产检漏的运营成本。2012年北京科仪创新真空全球首推氢气检漏系统。在我国氢气制备工艺成熟。价格便宜。详细请咨询图片上的电话联系获取详细技术资料。

水压法

对压力容器或密封装置进行试验时，先将容器或密封装置内部装满水，再用水泵向里注水，观察设备或密封装置周围有无水漏出。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置。检漏时必须耐心等待，直至水泄漏出来。因此，只能抽象地表示灵敏度的高低。根据被检物表面是否有水渗出，很容易判断出泄漏点。但是，对于结构比较复杂的设备，肉眼可能无法直接观察到泄漏点。只要水压不变，泄漏率大小就不会发生很大变化，因而可以获得较为一致的结果。当然由于检漏人员的观测技巧不同，检测结果也不会完全相同。除水泵外，水压法检漏无需大型、贵重设备，因而很经济。

真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，其测量工作原理如下。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的专用质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。检测时，可以直接使用超声波检测器，根据检测仪表指针是否摆动，确定有无泄漏。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。